發布時間:2024/5/29 09:52
記者曾奕語/綜合報導
台灣晶圓代工龍頭台積電早前曾表示,荷蘭半導體設備製造商艾司摩爾(ASML)的高數值孔徑極紫外光曝光機(High-NA EUV)太貴,在2026年前使用並沒有太大的經濟效益。但現有業界消息與外媒披露,台積電總裁魏哲家近日密訪艾司摩爾總部,上述說法是否將被推翻,引發外界揣測。
綜合《Business Korea》及《Wccftech》等報導,台積電總裁魏哲家23日未出席自家舉辦的「台積電2024技術論壇」,而是前往荷蘭艾司摩爾總部以及德國工業雷射公司TRUMPF祕密訪問,可見台積電與同業英特爾(Intel)、三星(Samsung)的設備爭奪競賽,暗潮洶湧。
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艾司摩爾高數值孔徑EUV設備,去年由英特爾拔得頭籌,據悉艾司摩爾截至2025年上半年絕大多數新型High-NA EUV曝光機訂單,都已被英特爾買下。另外,三星電子也早就動起來,會長李在鎔去年就曾訪問艾司摩爾,強化韓荷兩國「半導體同盟」關係。
而本次魏哲家的祕密行程曝光,是由於艾司摩爾執行長富凱(Christophe Fouquet)與TRUMPF執行長卡穆勒(Nicola Leibinger-Kammüller)在社群媒體上發文,富凱分享:「我們向魏總裁介紹我們最新技術與產品,包括High-NA EUV曝光機將如何實現未來半導體的微製程技術」。
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台積電資深高層曾經透露,雖然喜歡High-NA EUV機台的功能,但售價過於昂貴,公司預計在A16製程技術後的產品,再考慮使用High-NA EUV曝光技術。不過,隨著魏哲家密訪艾司摩爾總部的行程曝光,外媒推測,台積電為了站穩全球半導體的主導地位,可能正在重新思考對於曝光技術的策略轉向。
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